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OP400
压电物镜扫描窜轴
光切片3顿成像
用于延时成像的自动对焦系统
高通量扫描
表面分析
晶圆检测
扫描干涉仪
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产物描述
NanoScan OP400 压电物镜扫描Z轴提供快捷的步进时间以及整定时间，基于电容传感器的位置反馈，也可以提供优异的精度以及分辨率。OP400与大多数麻花星空MV高清免费以及物镜兼容，特别的用户配置设置针，对物镜大小，重量，性能需求做出优化，只需要针对应用选择合适的设置即可使用。
400 μm闭环行程，480 μm开环行程。电容传感器具备亚纳米量级位置分辨率以及重复性。不锈钢材质，提供优质的机械刚性获得快捷的速度，优异的温度稳定性确保低漂移。柔性铰链系统减少离轴运动，提高重复性和周期循环时间。适用于正置以及倒置光学系统。内置校准数据，确保精度，便于更换控制器。大负载下也能确保快速整定时间，超过1000万次全量程循环。
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产物参数
| 参数/型号 | 行程 μm | 重复精度 nm | 分辨率 nm | 线性度 % | 负载 g | 整定时间 ms |
| OP400 | 400 闭环 |
1.6 |
0.7 |
0.005 |
800 |
7 / 10 / 18 * |
*5%整定0.5?m步骤150g/250g/500g负载。
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使用手册
软件以及二次开发
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