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DPT-E 系列

闭环纳米促动器

内置校准,高负载,步进稳定时间短

行程范围大,可以提供真空兼容选项

能够在110℃的环境中工作

能承受130℃的烘烤温度

使用抗强辐射降解材料

超殷瓦合金可以更换为无磁性不锈钢

产物描述

产物参数

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产物描述
DPT-E 系列纳米促动器使用电容式反馈控制,可实现精准定位。旨在提供高精密度、高准确性和高速度的纳米定位。
DPT-E 纳米促动器和完全可编程的 NanoScan NPC-D-6000 系列或 NPC-D-5200 数字闭环控制器构成的系统是严苛应用的理想选择。该设备能够在全行程范围内移动高达 60 kg 的负载,电子噪声低且具有高线性度,为作动器定位的精密度、速度和准确性提供了信心。热稳定性高的超殷瓦钢结构提供了优异的位置稳定性。 DPT-E 为高电压 DPT-C 的换代产物。其行程范围较 DPT-C 同等型号提升了至少 25 %,其他方面也有所增强。
特性
内置校准,高负载,步进稳定时间短
行程范围大,可以提供真空兼容选项
能够在 110℃ 的环境中工作
能承受 130℃ 的烘烤温度
使用抗强辐射降解材料
超殷瓦合金可以更换为无磁性不锈钢
客户定制方案
如果对产物有特殊要求,请联系我们定制。
根据不同的系统要求,我们可以提供对应的真空馈通法兰,作为一个整体一起校准。为了保证内部的可替换性,请确保馈通和控制器之间的连接,导线的材料和长度会对位置的准确性产生影响。
高真空度选项
DPT-E 系列闭环纳米促动器可以提供真空兼容选项,这些特殊的促动器由低放气材料制造,可以承受 90℃ 的烘烤温度。
高温选项
DPT-E 系列闭环纳米促动器能够在 110℃ 的环境中工作,并能承受 130℃ 的烘烤温度。由于自身发热量的降低,器件也可以在高频动态范围下工作。
无磁选项
超殷瓦合金更换为无磁性不锈钢。
强辐射选型
使用抗强辐射降解材料。

 

 

 

 

 

 

产物参数
参数/型号 材料 尺寸 mm 行程 mm 线性误差 % 重复精度 nm
DPT-E-20
超殷瓦合金
Φ20 × 44.2
20
<0.03
0.5
DPT-E-50
超殷瓦合金
Φ20 × 76.7
50
<0.03
0.6
DPT-E-110
超殷瓦合金
Φ20 × 127.8
110
<0.03
0.8
DPT-E-20-UHV
超殷瓦合金
Φ20 × 44.2
20
<0.08
0.8
DPT-E-50-UHV
超殷瓦合金
Φ20 × 76.7
50
<0.08
1
DPT-E-110-UHV
超殷瓦合金
Φ20 × 127.8
110
<0.08
1.2
资料下载

产物资料

使用手册

ProScan_III-v1.12 English

3.89MB

2024-09-04

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软件以及二次开发

Prior-Terminal-2.10

19.51KB

2024-09-04

下载
Prior-PS3-USB-DRIVER

1.68KB

2024-09-04

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