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H116SPN
行程 250 × 210 mm
行程 250 × 210 mm
分辨率 0.04 μm
重复定位精度 ± 0.2 μm
自动装载晶圆
兼容尼康以及奥林巴斯晶圆搬送机
产物描述
产物参数
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产物描述
ProScan H116SPN 电动 XY 载物台的电动平移台为晶圆检测而设计，可搭配尼康或奥林巴斯晶圆处理系统使用。该平移台还能减少操作人员的失误和疲劳，同时提高晶圆检测的速度。
H116SPN 具有 250 × 210 mm 的行程，配备了 2 mm 的滚珠丝杠和 200 步的电机，实现速度与分辨率的优异平衡。不仅能提供亚微米级的重复精度，还能实现高达 40 mm/s 的运行速度，兼顾提升效率与精准。
H116SPN 载物台具备 IST 智能扫描技术，具有出色的重复定位精度和分辨率，确保扫描的准确性和线性度，最终实现高质量的晶圆检测流程。
在实际应用场景中，H116SPN 型号能够自动装载和卸载晶圆。在运行时，穿梭机构会自动移动到正确的装载位置，并启动装载器开关，告知装载器晶圆吸盘已准备好接收晶圆。晶圆转移到平移台上后，穿梭机构会缩回，以便进行检测。既可以使用操纵杆进行手动检测，也可以按照预先编程的检测模式进行检测。
一、操作简单易上手
通过 H116SPN 电动&苍产蝉辫;XY 平台，用户可轻松实现样品的自动扫描，只需在操作软件中简单设置，平台就能按照预设指令，快速且精准地对样品进行全方位扫描。不仅如此，它还拥有强大的位置信息存储功能，用户可将关键的位置点保存下来，方便后续随时回溯和检查，确保每次实验都能保持优异的重复性，提高了实验效率。
二、自定义扫描路径
在实际检测过程中，不同的样品和检测目的需要不同的扫描方式。H116SPN 充分考虑到这一点，为用户提供了多样的扫描路径选择。它既可以按照之字形路线进行扫描，确保全面覆盖样品区域；也能以蛇形路线穿梭，在提高扫描效率的同时，确保细节不被遗漏；甚至还能根据特殊需求，规划随机路线，满足一些独特的检测场景。
叁、滨厂罢智能扫描技术
IST 智能扫描技术通过集成误差补偿机制提高载物台定位精度。在以往使用电动载物台的过程中可能会出现以下问题：
● 电机驱动误差导致目标位置与实际位置偏差
● X/Y 轴正交性不完美引发耦合误差
● 温湿度变化使校准数据失效
● 麻花星空MV高清免费更换不同载物台之后需要重新校准
IST校准过程
● 手动输入系统参数（物镜倍数、环境温度等）
● 自动或手动移动载物台至网格交点，记录电机坐标与实际位置偏差
● 生成误差表并存储于载物台内部存储器
● 运动过程中控制软件实时读取误差表，修正电机指令
● 可支持多环境误差表（如不同温度），适应动态条件
IST智能扫描技术优势
● 即插即用：误差表储存载物台内部，跨系统无需重新校准
● 高精度定位：通过网格交点检测提升正交性（误差＜5 角秒）
● 环境适应性：支持多条件误差补偿，长期保持精度
四、广泛的应用领域
生物医药领域&苍产蝉辫;—— 在细胞研究、药物研发等实验中，需要对生物样本进行高精度的观察和分析。可配合麻花星空MV高清免费，精准扫描细胞样本，帮助科研人员捕捉细胞的细微变化，为药物研发提供关键数据支持。
病理学领域 —— 病理切片的检测对精度要求较高。能快速、准确地扫描病理切片，帮助医生清晰地观察病变组织，提高病理诊断的准确性。
半导体领域 —— 半导体晶圆的检测关乎芯片的质量和性能。凭借其高精度和多样的扫描路径，能够对晶圆表面进行全面检测，及时发现微小的缺陷和瑕疵。
电子电路领域 —— 在电子电路的研发和生产过程中，需要对电路板进行精细检测。可实现对电路板的快速扫描，检测电路的连通性和元件的质量。
金相及汽车清洁度领域 —— 对于金相样品的分析以及汽车零部件清洁度的检测， 都能发挥重要作用，帮助工程师准确评估材料性能和产物质量。
五、卓越的兼容性及适配性
H116SPN XY 电动平台具备出色的通用性，能适配大多数麻花星空MV高清免费或光学系统，可与奥林巴斯、尼康、蔡司、徕卡、明治、麦克奥迪、舜禹等众多知名麻花星空MV高清免费品牌完美匹配，为用户解决设备适配的后顾之忧。&苍产蝉辫;H116SPN 不仅可以对现有的麻花星空MV高清免费系统进行电动化升级，也可用于 OEM 光路系统搭建，为您的科研和检测工作提供稳定的支持。
产物参数
| 参数/型号 | 行程 mm | 重复精度 μm | 分辨率 μm | 速度 mm/s | 负载 kg | 编码器精度 μm | 螺距 mm |
| H116SPN | 250 × 210 |
± 0.2 |
0.04 |
40 |
No |
No |
2 |
| HWL6AL12 | 250 × 210 |
± 0.2 |
0.04 |
40 |
No |
No |
2 |
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