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参数/型号 | 推力 N | 行程 mm | 负载 g | 分辨率 nm | 重复精度 nm | 精度 μm | 速度 |
XLS-5 | 5 |
30、48、69、109 |
2 max. |
1250 350 80 50 |
± 1250 ± 350 ± 80 ± 50 |
2 - 5 um/s Min. 200 mm/s Max. |
产物资料
使用手册
软件以及二次开发
3顿模型文件
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